Электронно-лучевая технология в изготовлении...

Main
Электронно-лучевая технология в...

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Брюэр Дж. Р. (ред.)

0 / 0

0 comments

Bu kitabı nə dərəcədə bəyəndiniz?

Yüklənmiş faylın keyfiyyəti necədir?

Kitabın keyfiyyətini qiymətləndirə bilmək üçün onu yükləyin

Yüklənmiş faylların keyfiyyəti necədir?

Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.

İl:

1984

Nəşriyyat:

Радио и связь

Dil:

russian

Səhifələr:

167

Fayl:

PDF, 18.97 MB

IPFS:

russian, 1984